从单片巡查开始：
当前演示与试点范围

今天已经验证了什么

从一片晶圆及已有科学分析报告开始，Agent 按固定观察批次巡查工作台，采集页面观察并读取许可的分析材料。采集完成后，模型整理有引用的基础 Finding、限制与后续核查建议，最后交还控制。

这次路线覆盖总体视图、径向分布、贡献排名和局部图像核查，共完成八个观察检查点。模型在整批采集之后解释材料；本次没有生成或执行新的科学 Pipeline。

一条 Finding，怎样保留依据

验收中的一条基础 Finding 引用了 0–30 mm 环带的观测候选密度：原值为 0.247581465… objects/cm²，页面显示为 0.25 objects/cm²；对应检视面积为 28.273522 cm²，显示为 28.27 cm²。

数值绑定到原报告读取和页面观察，显示值、面积及限制经过复核。这说明该范围内的结果可以核查；单个密度值本身不证明异常、工艺原因或良率影响。

要判断是否异常，还需合适的参考基线、可比检测条件和明确判定规则。要调查原因，则需进一步选择能区分候选解释的检查。

持续调查，是下一阶段的目标

目标流程是：围绕 Finding 归纳问题，提出候选解释，按专业规范优先选择已有标准检查，必要时展开补充分析。执行与核查结果后，结合新增证据、累计证据与专业规范更新判断，决定继续调查、等待补证或结束。

例如，同片前后出现外圈候选增量时，可以先区分真实新增对象、检测条件变化和图像身份或对齐偏差。历史案例帮助提出解释；本次输入与检查结果才支撑本次判断。

网站中的持续调查、工程报告和完整依据链，是目标体验。标准检查优先复用已有流程，必要时才编排补充分析。新增分析需要可用工具、合格输入、适用方法和执行授权，不能由动画或规范文件代替实现与验收。

哪些能力需要另行验证

• 模型维护：诊断数据、标注、预处理和评估问题；连接训练、评估与部署为扩展方向。
• 参数研究：依据工程约束安排对照或 DOE，评审后验证候选参数方案。
• 经验整理：与专家共建版本化规范；完整整理、审核与发布工作流仍是设计。
• 私有与离线运行：当前验证演示使用外部模型服务；本地模型、工具及生产环境需要独立验证。

第一轮试点，可以从哪里开始

先准备一片晶圆、已有分析、来源与检视条件，以及一位能评审结果的工程师。在约定支持范围内，对照人工或已有脚本，评审线索是否有用、引用是否准确、计算是否可复核，以及完整人工投入。

巡查价值得到确认后，再选一个专业调查问题，共同补齐可比图像、Recipe、设备与工步记录。评估候选解释和检查是否真正缩小了原因范围，再决定是否扩展。