新设备工艺评估与调试建议
- 诊断报告
- 匹配偏差、跨批次稳定性与工艺适配情况；候选因素及其证据。
- 工程建议
- 优先核查项、调试顺序，以及有依据的参数调整方向。
- 验证计划
- 约定参考、复测条件与通过标准，核查匹配、稳定性及工艺兼容性。
- 完整调查依据
- 主测与参考数据、条件快照、检查与计算记录，以及未排除的因素。
建议形成的依据链 · 关联到原始数据与执行记录
OUR MISSION探索 AI 时代的半导体工程分析与验证体验。
看 Agent 如何调查它能帮我处理哪些工程问题？
01 / 诊断场景
发现异常，展开诊断。
给出处理建议。
面向 EE、PE 与 PIE。
从图像线索开始，把调查推进到可验证的判断。
新设备工艺验证 · EE / PE
新设备进入产线，
工艺表现是否符合要求？
匹配程度 · 稳定性 · 工艺兼容性
Agent
- 巡查与发现
- 诊断调查
- 验证建议
对照合格参考，核查设备匹配偏差
01 / 03- 01新设备工艺验证
- 02生产缺陷调查
- 03模型退化
它怎样推进调查？
02 / AGENT 行动
让 Agent 操作平台。
让工程师看见全过程。
Agent 巡查图像与已有分析，优先执行标准检查，按需补充分析。结合累计证据与专业规范，核查结果、更新判断。
01 / VISIBLE ACTIONS
看得见它在做什么
关注点、操作与分析结果，同屏呈现。
02 / EVIDENCE-DRIVEN
让证据更新判断
依据累计证据与专业规范，选择下一步。
03 / ENGINEER IN CONTROL
工程师保持控制
随时复核、修正与接管，保留未决问题。
它怎样进入我已有的工作环境？
03 / 私有部署与工作流集成
在你的环境运行，
融入现有工作流。
部署选项：Fab 私有云或本地环境 · 设备端边缘计算。
- FAB厂内私有云或本地环境
- EQUIPMENT SUPPLIER设备端边缘计算环境
PRIVATE / 客户环境你的计算环境
数据与分析，留在客户环境。
私有运行
数据留在客户侧
数据留在客户侧
本地推理本地计算本地记录
已有设备与工具典型工步 · 协同分析
光刻
沉积
刻蚀
量测与检测
已有业务数据Recipe · Config · Components · Log
WaferPilot客户环境 · 白盒 Agent
Agent 调查
专业方法
科学计算
记忆与依据
专业规范与调查依据，在客户环境保留
工程团队EE / PE / PIE · 现场服务
回到工程工作流有依据的发现。
可验证的建议。例如：核查检测条件与前后工步
可验证的建议。例如：核查检测条件与前后工步
工程师复核与验证结果，支持下一轮调查
更新判断
设备、数据与工程师，在同一个 Fab 内持续协同。
数据与工作流协同怎样连接已有工具与数据？查看协同流程
把海量晶圆数据，连成工程洞察。
先对齐对象、时间、坐标与版本，再与已有工具协同，为 PE 与 PIE 扩展分析深度。
- 01 海量数据
- 02 协同分析
- 03 核查与更新
- 04 工程洞察
现有工作流典型工步 · 按实际检测计划采集
沉积DEPOSITION
光刻LITHOGRAPHY
刻蚀ETCH
清洗CLEAN
CMPPLANARIZE
量测METROLOGY
沉积相关检测
光刻相关检测
刻蚀相关检测
清洗相关检测
CMP相关检测
量测结果
已有检测工具·图像与缺陷数据·良率数据平台·已有分析 / Python
协同分析层
WaferPilot
对齐 · 比较 · 关联 · 按需建模
观察→关联→按需分析→复核↺
06 / 06
让新发现进入下一轮工程验证。
把候选关联、原始依据和建议验证步骤，一起交给 PE 与 PIE。
发现 01 · 跨工步分布差异→发现 02 · 待验证的设备关联
候选关联 / 待工程验证合成图表
保留来源、分析口径与未决问题
PE
工步与设备调查核查线索 · 安排验证
有依据的新发现回到现有工程工作流
PIE
跨工步与整合调查理解关联 · 推进验证
它怎样帮助工程师推进问题解决？
04 / 工程师价值
把分析，
变成有依据的工程建议。
自动推进常规分析，覆盖更多晶圆、时间段与工程条件，发现有价值的线索和候选原因。工程师可逐步查看依据、调整调查方向，并将结果推进为调试与验证建议。
晶圆图像整片 · 局部 · 多片
量测数据分布 · 趋势 · 时间段
加工记录Recipe · 设备 · 条件
持续汇入工程师工作台分析与建议，帮助判断。
- 模式与差异
跨晶圆 · 时间段 · 工程条件
- 候选原因
支持与反对证据 · 待核查项
- 排查与调试建议
优先检查 · 调整方向 · 验证步骤
完整调查记录
观察 → 检查 → 计算 → 结果 → 建议依据
工程师保持控制复核 · 修正 · 接管
- 01
自动推进常规分析
执行已定义的检查，减少重复取数、对齐、计算和整理。
- 02
覆盖更多数据
跨晶圆、时间段与工程条件组织比较，扩大调查覆盖。
- 03
发现有价值的线索
汇集模式、差异与候选原因，支持下一项检查和工程建议。
- 04
全过程可追溯与可控
输入、方法、结果和判断依据逐步可查，可修正与接管。
自动推进常规分析
01 / 04自动执行已定义的核查与分析，减少重复操作。
我最后拿到什么？
05 / 工程交付
诊断报告与工程建议，
连同完整调查依据。
一份报告说明当前诊断、建议行动与验证步骤，每条建议关联分析过程、证据和未决问题。
一份工程调查交付同一次调查，
完整交付。
完整交付。
- 01诊断报告
- 02工程建议
- 03验证计划
- 04完整调查依据
它的专业判断从哪里来？
06 / 专业经验
把工程经验，
变成 Agent 的专业方法。
从工艺规范、设备资料、标准分析方法与现场经验出发，
形成可审阅、可版本化的方法；按适用范围进行检验。
- 01 工程经验
- 02 专家确认
- 03 规范执行
- 04 持续沉淀
先核查扫描范围，
再比较缺陷分布。
再比较缺陷分布。
EXPERTISE PACKAGE
v1.1晶圆比较规范
01
适用条件扫描范围可比
02
专业方法先核查，再比较
03
证据要求来源与口径可回看
新经验经专家复核
可审阅 · 可编辑 · 可版本化
团队的专业资产规范文件 · 方法与边界
Agent 工作台
HARNESS / 专业运行框架
专业规范+当前数据+分析工具
扫描范围已核查
核查范围→比较分布→保存依据
本次依据 · 专业规范 v1.0
Agent 的行动方法指导执行 · 依据随结果保留
新案例，经专家复核后进入下一版方法
04 / 04
新经验，经复核进入下一次任务。
保留本次调查依据，审核新的案例与方法，再发布新版本。
深入了解专业规范、运行框架与扩展能力展开
01 / EXPERIENCE工程经验规范 · 资料 · 专家判断
02 / REVIEW提炼与审核工程师确认方法
03 / SPEC专业规范文件版本化经验包
04 / HARNESS运行框架规范 · 数据 · 工具
05 / EXECUTE任务执行分析与依据同存
06 / REUSE审核后沉淀供下一次任务复用
01 / 06
从已有专业依据与工程问题开始。
带入工艺规范、设备资料与标准方法；历史案例用于补充和完善。
method-sources.md经验来源 · 保留原始依据
CASE- 工程问题
- 主测片与参考片的空间差异
- 经验来源
- 工艺规范、设备资料、标准方法与专家解释
- 专业判断
- 先核查可比性，再解释分布
- 适用边界
- 计数差异不能直接证明工序原因
经验保留来源，方法保留适用条件。
WaferPilot Agent Harness专业运行框架
EXPERTISE PACKAGE适用的规范版本方法 · 条件 · 证据要求
AGENT + RUNTIME专业判断与执行检查当前目标 · 数据 · 可用工具
WAFER ANALYSIS晶圆调查与证据空间观察 · 科学计算 · 图像复核
等待经专家审核的规范与当前任务接入。
新案例与验证结果形成候选经验 → 专家审核 → 发布新版本 → 下一轮复用
SAME HARNESS / NEW SPECS & TOOLS
同一架构，扩展到新的工程任务。
专业规范描述如何判断；工具契约描述能够执行什么。新增任务需接入相应工具并完成验证。
晶圆分析：可比性规范、科学分析工具与证据要求，共同支持持续调查。
经验属于团队。
将资深工程师的判断与历史案例，沉淀为能审阅、修订和复用的专业资产。
规范进入工作过程。
Harness 将规范与当前材料、能力和执行检查连接；Agent 在适用范围内选择下一步。
能力沿规范扩展。
以新的经验包、工具契约和评估案例扩展任务，复用同一专业运行框架。
专业经验以独立规范管理，经专家审核后发布，供后续任务复用。
专业架构经验、科学计算与证据怎样协同展开架构
PURPOSE-BUILT AGENT ARCHITECTURE
为半导体图像分析，
专门设计的 Agent 架构。
将Fab 工程经验与资深分析方法转化为适用条件、科学计算与证据要求。自主研发的 Agent 架构沿着这些专业约束推进任务，让观察、执行与核查连成闭环。
理解现场，知道该问什么。
把设备、工艺、检视条件与比较目的带入调查，明确哪些线索值得验证、哪些材料需要补充。
明确方法，知道怎样验证。
核查统计总体、实际检视面积、分析方法和比较口径，区分观察、假设与工程解释。
专业方法与适用条件 · 工程经验进入每一轮分析
AUTONOMOUS AGENT调查与决策观察当前材料，选择下一步，依据结果调整路径。
SCIENTIFIC EXECUTION分析与计算在明确输入和范围下执行方法，返回可核查结果。
EVIDENCE & PROVENANCE发现与依据关联原始图像、计算口径、结果版本和证据缺口。
观察→选择检查与分析→执行→复核→更新判断
工程师 · 确认范围、暂停、接管、审阅与安排验证
我怎样核查它的结论？
07 / 结论与依据
白盒 Agent。
建议背后的依据，逐层可查。
从大幅晶圆图像与工程配置，到工程建议。
输入、方法、计算与执行记录，逐层可回溯。
建议与依据双源输入专业方法科学计算
数据与计算关系 待验证的解释
工程建议先核查变化
再定位原因排查候选解释，再安排验证
再定位原因排查候选解释，再安排验证
FINDING外圈候选集中
VALIDATION候选解释待验证
CALCULATION科学计算
PIPELINE检查与执行
INVESTIGATION观察与核查
SOURCE大幅晶圆图像
CONTEXT工程配置
METHOD选择专业方法
EXPERTISE行业经验与规范
从输入，到建议。
每一步依据，自动展开。
每一步依据，自动展开。
02 / 04
每一条路径，都能回到它的依据。
WHITE BOX依据随结果保留
输入有来源图像与配置快照
方法有依据经验与适用条件
计算可复算算法与统计口径
执行有记录参数与结果版本
工程建议 / ADVISORY
先确认异常变化，再缩小原因范围。
先核查检测条件与同片前后变化，再结合 Recipe、设备履历区分候选解释。参数建议需有对应证据与验证方案。
建议的支撑与边界空间分布已量化 · 异常原因待核查
保留支持依据、缺口和未排除的解释。建议供工程师复核，关联线索仍需验证。
我们想带来怎样的工程体验？
08 / OUR MISSION
探索 AI 时代的
工程分析与验证体验。
从 Fab 图像分析与良率学习开始，让工程师与专业 AI 在同一工作台上持续调查、科学分析，并共同核查每个结论。
把一次报告延伸为持续的工程工作过程。新问题、新数据与新发现，在同一个上下文中连接起来。
用一个已有案例，评估一次真实调查。
约定问题、输入和交付，让工程团队评审新增价值。