本文以常见职责方向组织概念场景。实际岗位分工、数据权限和交付方式由企业工作流决定。

同一现象,两个调查范围

一个空间异常可能先进入 PE 的模块调查:当前设备与参考条件有什么不同,下一轮验证应该怎么安排?PIE 则可能需要沿着多个工步理解同一批晶圆的变化,并协调相关团队。

WaferPilot 的目标是保留共同调查上下文。图像来源、可比条件、已完成计算和待验证判断能够继续被引用,帮助不同角色沿着同一条证据路径合作。

PE / 工步调查PIE / 整合调查同模块 · 可比设备沉积光刻刻蚀量测共同的调查上下文 · 同一套可核查依据工步发现与验证范围跨工步关联与待决问题
职责与协作关系的概念示意。具体岗位名称与范围因企业而异。

PE:把一个工步问题查深

假设模块工程师正在比较设备导入后的主测片与参考片。任务可以先限定产品、层别和扫描条件,再核查区域差异、候选形貌和相关设备记录。

Agent 按适用方法进行分析,将新的观察带回原图核查。PE 看到的交付包括差异的具体位置、计算口径、可比性限制,以及哪些设备或 Recipe 条件值得安排下一轮验证。

PIE:把多工步线索连起来

如果问题涉及前后工步,PIE 需要核查加工顺序、各阶段观察和相关结果。Agent 可以围绕同一对象整理已有材料,标明哪些环节具有可比较的观察,哪些位置缺少支持材料。

跨工步关联形成候选解释后,应保留其他可能原因与数据缺口。交付可以帮助 PIE 明确优先联系哪些模块、补充什么记录、安排怎样的联合验证。

一次会议,如何继续推进调查

会议中的问题共同工作台应提供什么
我们到底看到了什么?原图定位、对象与区域、比较条件
这个判断怎么产生?专业规范、算法选择、Pipeline 与计算结果
还有什么没有确认?未决解释、数据缺口与已完成核查
下一轮由谁验证?候选对象、验证范围与责任安排

会议结束后,讨论中的判断应保留对应依据。后续新增记录和验证结果进入同一调查,减少重新建立背景的工作。

让分析成为可接续的团队工作

Agent 的新增价值可以体现为调查覆盖、方法复用和证据交接。工程师仍然提供现场背景、评审结果并决定验证;已有工具继续承担其原有工作。

团队协作同一份观察,连起模块调查和整合验证。
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