Fab 入门系列 · 简化图解用于理解原理，具体制造路线与系统能力请结合文中官方资料。
先按数据表达方式认识它们
| 数据家族 | 常见内容 |
|---|---|
| 图像与缺陷 | 扫描或复查图像、候选对象、坐标和分类 |
| 量测与测试 | 尺寸、膜厚、对准以及适用电性测试结果 |
| 设备传感器 | 温度、压力、流量等随过程变化的记录 |
| Recipe 与配置 | 设定值、阶段安排、配置与版本 |
| 加工与维护履历 | 设备、腔体、工步、时间、维护和批次事件 |
| 分析产物 | 统计结果、派生特征、模型与运行记录 |
PDF Solutions 的分析产品介绍列出传感器、量测、缺陷、测试与履历等数据来源。这里按理解方式归类，具体企业系统可能采用不同名称。
设定值与实际过程，各自表达什么
Recipe 描述希望怎样加工，例如阶段、目标设定与执行条件。传感器记录设备实际过程中的变化。配置版本和加工履历则帮助确认这片晶圆采用了什么安排。
调查需要把它们对应起来：相同 Recipe 名称下是否存在不同版本？日志时间对应哪次加工？某个变化发生在设备的哪个阶段？这些连接关系决定参数比较的意义。
图像、地图和表格怎样互补
原图支持观察形貌与局部细节；空间地图便于查看位置关系；表格和派生特征便于分组与定量比较。同一观察可以在这些表达方式之间切换。
保留原图索引、坐标映射、候选筛选规则和特征计算方法，能让工程师从一个统计结果返回对应位置核查。
数据之间，需要哪些连接线
| 连接条件 | 为什么重要 |
|---|---|
| 对象 | Lot、Wafer、Die 或区域标识，让结果落到正确对象 |
| 事件与时间 | 连接扫描、加工、维护与测试的实际顺序 |
| 空间与单位 | 说明坐标、区域、像素尺度和参数单位 |
| 来源与版本 | 确认输入材料、Recipe、配置与分析方法的版本 |
只有部分连接条件时，应说明当前能支持的范围。例如，缺少相关履历时可以描述图像差异，设备归因则仍需要补充材料。
一个问题，选择相关的数据
核查径向集中，可以先从原图、区域和采样条件开始；研究某项设备条件的关联，则还需要可匹配的过程记录。数据需求由问题和分析方法决定。
数据理解每份材料表达一部分事实，明确的连接关系让它们支持同一轮调查。