本文介绍目标分析过程。示例为假设场景，不表示已确认的设备归因、参数处方或已完成接口集成。
图像和工程条件，是两类输入
晶圆图像记录观察到的现象；Recipe、设备履历和工步信息提供形成现象的工程背景。两类材料要通过明确标识连接，才能围绕同一个对象展开调查。
| 输入 | 连接调查所需的信息 |
|---|---|
| 图像与缺陷记录 | Wafer / Die / 区域标识、坐标、扫描时间与条件 |
| Recipe 与配置 | 实际采用的版本、单位、适用工步与执行记录 |
| 设备与工步履历 | Tool / Chamber、加工顺序、批次与时间 |
| 相关结果 | 问题需要的量测、验证或测试结果及其来源 |
这里列出的是数据需求框架。实际可用格式、导出方式和接口范围，需要按客户的数据条件与产品版本确认。
先对齐对象，再讨论关联
当前 Recipe 文件不一定等于被分析晶圆当时采用的版本。设备日志的时间窗口也要与实际加工事件对应。关联前应核查对象、版本、时间和单位；缺少的连接关系应明确记录。
一个光刻调查的假设场景
假设某组晶圆出现值得核查的空间差异。Agent 可以先确认扫描条件和参考对象，然后核查同产品、同层别的记录：是否涉及不同曝光机、涂胶显影 Track 模块、Recipe 版本或维护时间窗口？设备名称与模块标识需对应实际工步。
如果数据中同时存在多个变化，分析需要保留这些条件。按可比组进行空间比较、检查相关量测，再观察候选关系是否在其他样本中出现，可以帮助缩小下一轮验证范围。
这条调查路径的交付可能是：“优先核查某组设备与 Recipe 条件，并补充对应参考片。”是否能进一步提出具体参数调整，要由相应证据和工程验证决定。
方法由当前问题和数据决定
分布比较、分组统计、关联分析和回归，各自回答不同的问题。需要训练图像模型时，还要说明样本与标注来源、训练和评估范围、误差表现，以及模型适用的对象。
每次方法选择都应关联专业规范、输入版本、参数和运行记录。结果返回后，再回到图像与工程背景复核，决定继续建模、补充材料或安排验证。
让相关性成为可验证的假设
检查应能区分候选解释：例如检测条件变化、图像对齐偏差和真实缺陷新增。若现有材料无法区分，应保留并存解释与明确缺口，再安排合适的对照或 DOE；相关性不能自动成为唯一根因。
统计关联为调查提供线索，因果判断还需要科学与工程依据。NIST 的散点图指南明确区分关联与因果；实验设计指南则从目标、变量与设计选择展开验证方法。
建议交付应包含候选工步或参数、支持依据、尚未排除的解释、需要补充的数据，以及 PE／PIE 可以安排的验证。验证结果继续回到同一调查上下文。