本文介绍观察与分析的方法。图像为合成示意，支持的数据与方法以适用产品版本为准。
先把工程问题放进图像
“这张图有没有异常？”可以进一步变成可调查的问题：当前片与参考片是否出现不同的空间分布？某类候选缺陷是否集中在特定区域？这轮扫描中的差异，是否在可比对象上重复出现？
每个问题都对应不同的观察范围、比较对象和计算口径。Agent 的目标体验，是把问题带入图像，定位值得核查的线索，再用适用的方法继续调查。
三个尺度，回答三个问题
| 观察尺度 | 能展开的调查 | 需要保留的条件 |
|---|---|---|
| Wafer 全局 | 区域集中、径向差异、空间模式 | 坐标、扫描范围、有效检视区域 |
| Die 或区域 | 相邻对象、同位置或参考片对比 | Die 映射、产品与层别、参考对象 |
| 局部原图 | 候选对象的形貌与图像来源核查 | 像素尺度、成像条件、原图索引 |
大幅高清图像的价值，在于全局线索能继续定位到局部原始材料。全片地图、裁切区域和局部图像需要保存映射关系；缩略图适合导航，定量分析应使用满足方法要求的原始数据或经过验证的派生数据。
数量、密度和图像差异要区分
两个区域的候选数量不同，可能与检视面积或抽样方式有关。比较缺陷密度时，需要相应的有效检视面积；比较数量占比时，需要说明分母由哪些对象构成。不同口径应该有各自的名称和依据。
一组热力图的颜色变化，也要检查图例和归一化方式。坐标、扫描范围、候选筛选规则或成像设置发生变化时，Agent 应把这些条件保留在比较结果旁，帮助工程师判断差异是否可比。
图像线索怎样走向工程判断
空间集中可以提出调查方向，局部形貌可以支持进一步分类。要确定异常在哪个工步引入，通常还需要工步前后的观察、设备履历和相关工程条件。要评估良率影响，则需要匹配的问题定义和结果数据。
建议应体现证据目前走到了哪里：已经观察到什么、已完成哪些计算、哪些解释仍需验证。材料不足时，下一步可以是补充同条件参考片、核查原图或获取相关工步记录。
观察的价值让每一条图像线索，都能定位、计算、回看和继续验证。
开始一轮调查，需要哪些材料
- 主测片与参考片，以及产品、层别、批次和时间信息。
- 全片坐标、Die 映射、扫描范围和原图索引。
- 候选对象记录、区域定义与有效检视面积。
- 像素尺度、采样方式，以及影响比较的成像条件。
- 本轮希望回答的问题，以及已有判断的依据。
这些材料决定一次调查可以支持的判断范围。数据缺口可以成为明确的下一步，让工程师知道接下来需要补什么。